팹 에어컨 히터 모듈

팹 내에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 발생하는 온도 변동이 단순한 이론적 문제가 아닙니다. 이는 실제로 생산 효율에 영향을 미치는 문제입니다. 만약 뜨거운 공기가 웨이퍼의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지할 수 없다면, 웨이퍼의 크기가 변하게 되고, 결국 공장은...