열 낭비를 막아보세요: IR 에너지 누수를 해결하는 간단한 방법 반도체 공장에서는 열이라는 것이 매우 중요한 요소입니다. 고출력의 IR 램프를 사용할 때, 그 에너지의 상당 부분이 그냥 흩어져 버립니다. 웨이퍼에 도달하지 못하고, 대신 내부 벽면을 타고 튕겨나가서,...

가연성 화학물질을 가열할 때 안전을 지키는 방법 솔직히 말해서, 화학 용액 속에서 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 휘발성이 강하고 가연성이 높은 용매를 다룰 때는 실수 한 번만으로도 폭발이 일어날 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는...

우리가 어떻게 오염 없는 적외선 가열 장치를 만들었는지 만약 여러분이 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 표준적인 가열 요소들은 전혀 쓸모가 없다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 이러한 가열 요소들은 미세한 입자들을 방출하며, 저렴한 재료로 만들어져 있어 유...

300mm 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열처리 단계가 아니라 수율 관리 관문이다. IR 히터의 열분포가 균일하지 않으면 라인폭 변동, 에지 비드, 클리닝 후 잔류하는 스컴 현상이 발생한다. 이를 검사로 해결할 수 없다. 온도 프로파일을 근본적으로 수...