클래스 100급 청정실을 운영할 때는 “거의 깨끗하다”는 수준으로는 부족합니다. 아주 작은 먼지 조각이나 화학물질 증기만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 문제는 대부분의 가열 소자들이 엉망인 상태라는 것입니다. 이러한 소자들은 고온이 되면 분해되고, 휘발성...

Role Fab 공정에서, 포토레지스트 베이크 중 0.3°C의 온도 편차는 단순한 스펙 위반 위험이 아니라 명백한 불량으로 이어진다. 이는 근접 실패가 아니라 폐기 처리 대상이다. 우리는 반도체 제조의 무관용 실태에 맞는 히팅 솔루션을 구축했으며, 여기서 열 예산은...