웨이퍼를 경화할 때 발생하는 에너지 낭비를 막으세요.
웨이퍼를 경화할 때, 낭비되는 에너지는 결국 돈의 낭비일 뿐만 아니라 오염 위험도 증가시킵니다.
경화용 램프를 생각해보세요. 램프는 360도 방향으로 에너지를 방출하지만, 웨이퍼는 한쪽 면에만 있습니다. 그러니 에너지의 절반이 램프 뒤쪽의 공기를 가열하는 데 소모됩니다. 이는 명백한 낭비입니다.
이 문제를 해결하기 위해 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 이 반사체는 램프에서 나오는 에너지를 다시 웨이퍼 쪽으로 반사시켜 줍니다.
왜 금인가요?
왜 단순히 연마된 알루미늄을 사용하지 않는지 궁금할 수 있습니다. 문제는 알루미늄이 적외선 에너지를 너무 많이 흡수한다는 것입니다. 따라서 에너지를 효과적으로 반사시키지 못합니다.
반면 금은 장파 및 중파 적외선을 훌륭하게 반사합니다. 우리는 정밀하게 곡면 처리된 표면에 얇은 금 코팅을 입혀서, 지불한 에너지가 모두 웨이퍼에 도달하도록 합니다. 그 결과 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있으며, 전기 요금도 줄어듭니다.
열을 적절한 곳에 전달하기
반사체의 형태가 매우 중요합니다. 우리는 포물선 또는 타원형의 곡면을 사용하여 에너지를 한 점으로 집중시킵니다. 이렇게 하면 고밀도의 열이 생성됩니다. 그 결과 경화 시간도 크게 단축됩니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 만약 반사체에 스크래치가 생기거나 형태가 조금이라도 틀어지면 “쿨 스팟”이 생깁니다. 이는 치명적입니다. 이로 인해 웨이퍼가 고르게 경화되지 않고, 결국 폐기해야 하는 상황이 됩니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
금이 최고의 재료라는 것은 분명하지만, 금은 부드러운 재료입니다. 그래서 외부 충격을 견디지 못합니다.
만약 마모성 세제를 사용하거나 너무 거칠게 다룬다면 반사층에 스크래치가 생길 수 있습니다. 이런 스크래치는 단순히 보기 흉할 뿐만 아니라, 열이 반사되는 대신 흡수되는 원인이 됩니다. 이로 인해 반사체가 과열될 수도 있습니다.
간단히 말해, 장갑을 착용하고 비반응성 세제를 사용하세요.
이 제품들은 기존 램프를 그대로 대체할 수 있도록 설계되었으므로 교체도 쉽습니다. 단, 램프가 정확히 중심에 위치해 있는지 확인해야 합니다. 만약 약간이라도 틀어져 있다면 초점이 바뀌어서 위에서 언급한 효율성이 사라집니다.