어플라이드 머티어리얼즈 공정용 적외선 램프

웨이퍼를 가열할 때 90°C라는 온도는 단순한 수치에 불과합니다. 이는 웨이퍼의 선폭을 제어하기 위한 열적 조건을 나타내는 것입니다. 포토레지스트 용매의 남아있는 양을 반도 정도 줄이면, 현상 과정에서야 비로소 문제가 발생합니다. Applied Materials의 장...