부서진 램프로 인해 웨이퍼의 생산량이 줄어드는 것을 막으세요.
고부하가 걸리는 공장에서는 단 한 개의 고장 난 램프만으로도 하루의 작업이 엉망이 될 수 있습니다. 석영관이 터지면 작업 공간 전체가 유리 조각과 화학물질로 뒤덮이게 됩니다. 이 경우 단순히 가동 중단뿐만 아니라, 생산된 실리콘 제품도 폐기해야 합니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 특별히 적외선 건조 램프를 개발했습니다.
“폭발” 문제를 해결하기 위한 방법
우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 왜냐하면 온도가 급격히 변해도 그 성능이 변하지 않기 때문입니다. 하지만 그だけでは 충분하지 않았습니다. 우리는 “파손 방지 코팅”을 추가했습니다. 이 코팅은 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 필라멘트가 파손되어 석영관이 깨져도, 이 코팅 덕분에 유리 조각들이 제자리에 남아 있게 됩니다. 그래서 웨이퍼 위에 유리 조각들이 떨어지는 일이 없습니다.
열과 과열 문제
높은 와트수를 사용할 때는 과열이 문제가 됩니다. 열이 고르게 분배되지 않으면 석영관이 너무 빨리 손상됩니다.
이를 해결하기 위해 우리는 필라멘트가 정확히 중앙에 위치하도록 합니다. 이는 사소한 디테일처럼 보일 수 있지만, 온도가 전체 석영관에 고르게 분배되도록 하는 데 중요한 역할을 합니다.
한 가지 팁: 전원 공급 장치를 반드시 확인하세요. 만약 전압이 램프의 사양과 맞지 않으면 전류가 급격히 증가하여 석영관이 손상될 수 있습니다.
타협점들 (완벽한 것은 없기 때문에)
우리는 표준 커넥터를 사용하기 때문에, 대부분의 건조 장비에 쉽게 연결됩니다.
하지만 솔직히 말해서, 그 보호 코팅으로 인해 적외선이 약간 차단됩니다. 그로 인해 원료의 온도가 3~5% 정도 낮아질 수 있습니다.
하지만 작업 시간에는 걱정할 필요가 없습니다. 우리는 그만큼의 에너지를 더 공급함으로써 이 문제를 해결합니다. 웨이퍼는 예전과 같이 정상적으로 건조됩니다. 다만, 냉각 시스템이 그 추가된 열을 감당할 수 있도록 해야 합니다.