ASML 리소그래피 램프 부품

생산 현장에서 리소그래피 램프의 성능이 저하되면, 단순히 특정 공정만 중단되는 것이 아니라, 장치의 형상을 결정하는 전체 공정도 중단됩니다. 램프의 성능이 저하되면, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서의 온도 조절이 제대로 이루어지지 않고, 포토레지스트의 두께도 일...