리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서의 온도 균일성은 단순히 바람직한 요소가 아닙니다. 이는 생산 효율에 직접적인 영향을 미치는 중요한 요소입니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 1°C라는 작은 온도 변화만으로도 CD 제어에 문제가 생기고, 포토레지스트에 결함이 발생할 수 있습니다. 우리는 이러한 변동성을 원천적으로 없애기 위해 클린룸용 적외선 히터를 개발했습니다.
기술적으로 중요한 점들 단파 적외선을 이용하면 웨이퍼에 빠르고 직접적인 열이 가해져, 설정된 온도가 몇 초 안에 도달합니다. 베이킹 구역 내에서 웨이퍼의 온도 균일성은 ±0.1°C 이내로 유지되며, 반복성도 매우 뛰어납니다. 히터는 클래스 1–100 등급의 클린룸에 적합하도록 설계되었으며, 밀폐된 연결부와 노출된 필라멘트가 없어서 공기 중의 입자 생성을 방지합니다. 5,000시간 이상 사용해도 성능이 안정적이며, 강도 변화는 5% 미만입니다.
포토레지스트 처리 공정에서는 열 제어가 매우 중요합니다. 우리의 적외선 히터는 소프트 베이크와 하드 베이크 모두에 적합한 온도 프로필을 제공하며, 빠르게 냉각되어 처리 시간을 줄여줍니다. 또한, 챔버 벽이 아닌 웨이퍼 자체를 가열하기 때문에 에너지 소비도 줄어듭니다. 그 결과, 재작업이 줄어들고, CD의 분포가 더욱 정확해지며, 매번 일관된 성능을 얻을 수 있습니다.
설치 시 고려해야 할 사항은 오븐의 포트 형태와 전력 공급 방식을 맞춰주는 것입니다. 우리는 통합을 용이하게 하기 위해 인터페이스 도면과 보정 곡선을 제공합니다. 또한, 클린룸용 전기 연결 부품을 사용해야 하며, 웨이퍼 처리 로봇과의 간격도 확인해야 합니다. 이 히터들은 SECS/GEM 호스트와 호환되지만, 고정된 온도 대신 레시피 기반의 온도 제어를 원한다면 별도의 컨트롤러가 필요합니다.