クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、エアフィルターだけでは不十分です。本当の問題は、装置自体から発生する汚れです。 ほとんどの加熱ランプは問題を引き起こします。それらは剥がれ落ちたり、ガスを放出したりして、微細な汚れを残してしまいます。私たちは、高純度の合成石英製のケース...

CNTの成長において適切な温度を維持するために 炭素ナノチューブを成長させる際、出力の大きさにこだわりがちです。しかし実際には、エネルギーがウェーハに届かなければ、どれだけ多くの電力を供給しても意味がありません。より多くの電力が必要なのではなく、エネルギーを効果的にウェーハに送り込む方法が必要なの...