用于半导体加热器的特氟龙导线

为什么在半导体制造中，红外加热比热风加热更优？ 在半导体加工过程中，从热风加热改为红外加热，其实不仅仅是更换一种加热方式而已。这是一种完全不同的能量利用思路。 先来看看热风加热的缺点：它的速度很慢。首先需要加热空气，然后由空气来加热晶圆。显然，这其中存在一定的延迟时间。而红外加热则不同——它属于辐...