半导体洁净室推车式加热器

确保洁净室内的加热器安全无虞（同时保护晶圆不受损坏） 在半导体洁净室中，容不得任何差错。在为运输用推车设计加热器时，我们不仅要确保其能够均匀发热，还要防止电气泄漏的问题。哪怕有微小的电弧或绝缘层出现破损，都可能毁掉整批晶圆，或者导致断路器跳闸，从而使整个生产设施停止运转。这对任何人来说都是糟糕的情...