在生产线中，催化剂干燥绝非简单的形式主义——它实际上关乎热处理效果，一旦处理不当，就可能导致产量下降。对流式烤箱会导致温度不均匀，而加热板则会在晶圆表面形成温度梯度。这些因素都会导致催化剂分布不均、出现气孔，进而在后续的堆叠粘合过程中引发缺陷。
我们专门为解决这些问题设计了这种干燥装置：它采用近红外光源驱动，其设计理念与光刻胶固化过程中的热处理原理类似。
日常使用中，我们需要的是能够精确控制且可重复验证的系统。该系统能快速达到设定温度，无需与晶圆直接接触，且能够保持稳定的温度曲线。在照明区域内，晶圆的温度均匀性可保持在±0.1℃以内，而且在这种持续工作状态下，设定温度也能保持稳定。
该装置适用于从1级到100级的洁净室环境，其所使用的材料和密封件都能有效避免颗粒产生。而且，它可以在不同班次之间保持一致的运行状态，即始终具有相同的温度曲线和性能表现。
之所以如此有效的原因是：它能够消除干燥过程中的各种变量，从而加快升温速度，使催化剂的形态更加均匀，同时减少返工次数。由于光源只加热目标物体而非整个腔体，因此能耗也会降低。该装置的可靠性极高，可以24/7连续运行，维护周期也是可预测的，不会发生意外故障。
需要注意的一点是：近红外干燥属于直线照射方式，因此必须确保固定装置的几何结构以及反射器的对准情况良好，以避免在晶圆上有阴影产生。我们提供了相应的验证工具，包括热电偶测温数据、强度分布图以及适合洁净室环境的安装配件，这样第一次测试的结果就能达到规格要求。