MEMS制造红外加热器

在工厂车间，光刻胶烘焙过程中的温度漂移并不是某种学术练习。它表现为线宽变化、附着力差，以及最终进入废料箱的晶圆。在MEMS中，由于热预算紧张且薄膜较薄，0.5°C的波动可能导致良率下降。您需要一台能够像钳子一样牢牢保持设定点的加热器，循环使用。 底层重要性 我们的MEMS制造红外加热器采用了短波红...