真空烘箱加热元件制造

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是简单的预热过程，而是一个严格的工艺边界。 软烘烤或硬烘烤阶段温度偏差几度，关键尺寸控制就会崩溃。线体在蚀刻前就开始拒收晶圆。这就是为什么真空炉加热元件必须保证整个腔体、整个批次乃至每周的热均匀性。 技术要点 我们制造的加热元件符合晶圆厂级别的热控要求。在加热区内保持温度...