Op de lithografieafdeling is het belangrijk dat de temperatuur gelijkmatig is tijdens het bakproces. Het gaat hier om een cruciale factor voor de kwaliteit van het eindproduct. Een verschil van 1°C tussen verschillende delen van de chip kan de controle over de CD-waarde beïnvloeden en defecten in de fotoresist veroorzaken. We hebben onze IR-verwarmers zo ontworpen dat deze deze variabiliteit bij de bron wegnemen.
Wat technisch gezien belangrijk is: De kortegolf-Infrarood-elementen zorgen voor een snelle, directe warmteoverdracht naar de chip. Hierdoor wordt de gewenste temperatuur al na enkele seconden bereikt. De temperatuurvariatie op het oppervlak van de chip blijft binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid van het proces blijft ook binnen strenge grenzen. De verwarmers zijn geschikt voor gebruik in zuiverruimten van klasse 1–100. Ze hebben gesloten verbindingen en geen zichtbare gloeidraden, zodat er geen deeltjes worden geproduceerd. De prestaties van de verwarmers blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% temperatuurvariatie.
Bij het verwerken van fotoresist kan men geen fouten in de temperatuurregeling tolereren. Onze IR-verwarmers passen zich aan aan de benodigde parameters voor zowel zacht als hard bakproces. Daarnaast koelen ze snel af, waardoor de cyclusduur korter wordt en de productiecapaciteit toeneemt. De energieverbruik neemt af, omdat de chip zelf wordt verwarmd en niet de wanden van de ruimte. Dit resulteert in minder herwerkingskosten, een betere verspreiding van de CD-waarde en consistente prestaties van het proces, shift na shift.
Wat u moet planen bij de installatie: Zorg ervoor dat de geometrie van de oven en de stroomvoorziening goed op elkaar aansluiten. We leveren tekeningen en kalibratiecurven om het integratieproces te vergemakkelijken. Zorg er ook voor dat u de juiste elektrische aansluitingen hebt en dat er voldoende ruimte is voor het hanteren van de chips. De verwarmers zijn compatibel met SECS/GEM-apparaten. Als u liever profielen wilt die worden bepaald door specifieke instellingen in plaats van een vaste temperatuur, heeft u een aparte controller nodig.