Op de productiehal bepaalt het temperatuurprofiel binnen een PECVD-chamber het karakter van de afgelegde filmlaag. Zodra de emitter begint te dwalen, merk je dat meteen: er ontstaan spanningen in de film, de dikte van de filmlaag wordt onregelmatig en het aantal deeltjes neemt toe. We hebben onze PECVD-verwarmingsemitter ontworpen om te voldoen aan de thermische eisen van moderne productielijnen. Het kan gemakkelijk worden gebruikt als vervanging voor de internationale apparaten die u al gebruikt.
Het hart van deze emitter bestaat uit kortegolfig infraroodlicht, dat rechtstreeks in het kwarts en de susceptor wordt geleid. De reactietijd is minder dan een seconde, zodat de instellingen snel weer op hun juiste stand komen nadat een deur wordt geopend of wanneer er een verandering in de instellingen wordt doorgevoerd. Over het hele proces heen blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, waardoor de fotoresist op de juiste manier kan worden verwerkt en de controle over de dikte van de filmlaag behouden blijft.
De emitter is compatibel met cleanrooms van klasse 1 tot en met klasse 100. Hij produceert geen enkele vuildeeltje, en de emissieprofielen zijn zo precies dat ze tot op een nauwkeurigheid van 0,1 μm kunnen worden gemeten. De efficiëntie komt doordat het warmteenergie omzet wordt in straling. In onze testomstandigheden werkt de emitter 24/7 zonder onverwachte stilstandsperioden.
Wat de emitter uniek maakt, is zijn capaciteit om het thermische budget en de herhaalbaarheid van het proces te behouden. Hierdoor wordt de kwaliteit van de geproduceerde filmlagen verbeterd, worden er minder defecte wafers geproduceerd en kan men beter plannen voor de onderhoudswerkzaamheden. De emitter kan gemakkelijk worden geïntegreerd in bestaande chambers, zodat uw productieproces onverstoord kan blijven.
De installatie is eenvoudig, maar de thermische eigenschappen van de susceptor moeten overeenkomen met die van de emitter. Het is raadzaam om na de installatie snel een temperatuurprofiel op te stellen – zodat u kunt controleren of alles op de juiste manier werkt. Eenmaal gecentreerd, blijft het proces stabiel, shift na shift.