클린룸 오븐 적외선 히터
리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서의 온도 균일성은 단순히 바람직한 요소가 아닙니다. 이는 생산 효율에 직접적인 영향을 미치는 중요한 요소입니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 1°C라는 작은 온도 변화만으로도 CD 제어에 문제가 생기고, 포토레지스트에 결함이 발생할...
진공 오븐 히터 제작
Role 현장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 예열이 아니다. 이는 엄격한 공정 경계선이다.
소프트 베이크나 하드 베이크에서 온도가 몇 도만 벗어나도, 치명적인 치수 제어가 무너진다. 라인이 에칭 전에 웨이퍼를 이미 불량 처리하기 시작한다. 그래서 진공 오븐의 히팅...