진공 히터가 폭발하지 않도록 하는 방법 진공 챔버는 매우 혹독한 환경입니다. 아주 작은 전기 아크만으로도 생산된 제품들이 모두 파괴될 수 있으며, 값비싼 진공 펌프도 손상될 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 우리는 히터가 견딜 수 있는 열을 감당할 수 있도록 설계...

진공 챔버의 벽을 가열하는 것을 그만두세요. 고출력의 적외선 램프를 진공 상태에서 사용해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 열이 퍼질 공기가 없기 때문에, 그 에너지는 어디로도 가지 못하고 그대로 챔버의 벽에 스며들 뿐입니다. 이는 단순한 전력 낭비가 아니라...

왜 적절한 파장의 적외선 히터가 포장 라인의 수익성을 향상시키는지 우리는 Leybold 진공 시스템용으로 고품질의 적외선 히터를 제작합니다. 솔직히 말해서, 포장 및 테스트 라인은 가동이 중단될 여유가 없습니다. 이 히터들은 진공 챔버 내에서도 안정적으로 작동할 수...

Role 현장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 예열이 아니다. 이는 엄격한 공정 경계선이다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 온도가 몇 도만 벗어나도, 치명적인 치수 제어가 무너진다. 라인이 에칭 전에 웨이퍼를 이미 불량 처리하기 시작한다. 그래서 진공 오븐의 히팅...