UHP(초고순도) 히터 램프

샤워를 멈추세요: 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 고부하 반도체 생산 환경에서 램프가 파손되는 것은 단순한 “기술적 문제”나 잠시의 가동 중단에 그치지 않습니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 만약 석영관이 웨이퍼 바로 위에서 깨진다면, 엄청난 양의...