기계를 가열하는 대신, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요.
반도체 웨이퍼를 세척할 때는 열이 필요합니다. 하지만 일반적인 히터들은 에너지를 사방으로 방출하기 때문에 문제가 생깁니다. 이로 인해 장비의 내벽이 마치 거대한 스펀지처럼 되어버립니다. 그 결과, 장비의 외부가 너무 뜨거워져 작업자들이 화상을 입을 수도 있습니다. 게다가, 굳이 필요 없는 금속 부품들을 가열하기 위해 전기료를 낭비하게 됩니다.
우리는 방향성이 있는 적외선 램프를 사용하여 이 문제를 해결했습니다.
핵심은 초점에 있습니다.
전구와 손전등의 차이를 생각해보세요. 이 램프들은 열이 사방으로 퍼지는 것을 막고, 반사판과 특수 코팅을 이용해 에너지를 정확히 목표물에 집중시킵니다. 그렇게 하면 열이 웨이퍼에만 집중되고, 기계의 외부는 시원한 상태를 유지할 수 있습니다.
습기가 많은 환경에 적합합니다.
세척 공간은 항상 젖어 있습니다. 일반적인 램프를 사용하면 곧 고장 나거나 타버립니다. 그래서 우리는 습기에 강한 방수 씰과 커넥터를 사용합니다. 또한 석영관도 처리하여 공장 내의 습도와 유해한 화학물질들에 견딜 수 있도록 했습니다.
열의 집중도에 주의하세요.
기계의 다른 부분은 시원한 상태를 유지하지만, 작은 면적에 엄청난 양의 에너지가 집중됩니다. 주의해야 합니다. 만약 재료가 그런 강한 열을 견디지 못한다면 변형될 수 있습니다. 타이밍도 매우 중요합니다. 단 몇 초만큼의 차이라도 있으면 웨이퍼가 과열될 수 있습니다. 그러므로 정확하게 조절해야 합니다.
설치 방법
가장 좋은 점은, 한번 설정해두면 더 이상 큰 냉각팬을 사용해 장비를 식힐 필요가 없다는 것입니다. 전기료도 줄어들고, 작업자들도 훨씬 안전한 환경에서 작업할 수 있습니다.
한 가지 팁을 드리자면, 반사판의 위치를 정확하게 맞춰야 합니다. 반사판이 5도만 비뚤어져도 열이 제대로 전달되지 않습니다. 그러니 꼭 시간을 내어 반사판의 위치를 정확하게 맞추세요.