클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하기
클래스 100 청정실을 운영할 때는 아주 작은 실수라도 모든 것을 망칠 수 있습니다. 약간의 미세한 입자나 화학물질이 발생하기만 해도 생산성이 급격히 떨어집니다.
문제는 대부분의 일반적인 히터들이 이러한 환경에 적합하게 만들어지지 않았다는 것입니다. 이러한 히터들은 가열 및 냉각 과정에서 미세한 먼지를 방출하거나 오존을 생성합니다. 정말 골칫거리죠.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 인광등을 사용합니다. 이 제품들은 오존이 발생하지 않도록 특별히 설계되었습니다.
오존의 문제점
오존($\text{O}_3$)은 단파 자외선이 공기 중의 산소와 반응할 때 생성됩니다. 청정실에서는 이 가스가 큰 문제가 됩니다. 오존은 섬세한 웨이퍼를 손상시키거나 유기물을 파괴할 수 있습니다.
우리는 필라멘트의 스펙트럼 출력을 조절하고 고순도 석영 소재를 사용함으로써 오존 생성을 막습니다. 발광 피크를 자외선 영역에서 벗어나게 함으로써 오존이 생성되기 전에 그것을 차단하는 것입니다.
열에 강한 구조
우리는 융점이 높은 융합 석영을 사용합니다. 이 덕분에 램프가 매우 뜨거워져도 변형되거나 이상한 가스가 배출되지 않습니다.
대부분의 저가형 램프는 리드선과 석영관이 연결되는 부분에서 문제가 생깁니다. 이 부분이 가장 약한 곳입니다. 우리는 특수한 진공 밀봉 공정을 사용하여, 램프가 최대한의 열을 견딜 때에도 아무것도 밖으로 나오지 않도록 합니다.
주의해야 할 사항
이 램프들은 기존의 히터를 대체하기에 매우 좋습니다. 공기의 질에 대해 걱정할 필요 없이 필요한 열을 얻을 수 있습니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 고순도 석영은 일반적인 붕규산 유리보다 더 쉽게 부서집니다. 만약 장비가 너무 많이 진동하거나 고정 장치가 조금이라도 헐거우면, 석영관이 깨질 수 있습니다.
그러므로 장비가 단단히 고정되어 있고 배선도 잘 되어 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇게 하면 램프가 너무 빨리 고장 나는 것을 막을 수 있습니다.
우리는 “청정”이 단순한 목표가 아니라 모든 것의 핵심이라는 것을 잘 아는 사람들을 위해 이 램프들을 만듭니다. 안정적이고 신뢰할 수 있는 열원을 얻을 수 있습니다.