반도체 히터용 온도센서

팹 내에서는, 하트플레이트 영역에서의 0.5도라는 미세한 온도 변화도 결코 ‘작은 편차’가 아닙니다. 이러한 변화는 치명적인 크기 오차나 현상 과정에서 발생하는 문제들로 이어지며, 포토레지스트도 계획대로 흐르지 않게 됩니다. 리소그래피 및 포토레지스트 처리 과정에서...