300毫米晶圆红外均匀加热

在300mm生产线上，软烘和硬烘不仅仅是热处理步骤——它们是良率关卡。如果你的红外加热不均匀，就会出现线宽变化、边缘珠和清洗后残留的杂质。你无法通过检测来解决这个问题。必须从源头上修正温度曲线。 技术要点 我们基于短波红外构建了300mm晶圆红外加热器，配备了工程反射器和闭环分区控制。这能实现晶圆...