Hãy ngừng đoán mò nhiệt độ của wafer đi!
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy sản xuất thông minh, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng việc phải xử lý các vấn đề sau khi chúng xảy ra thật là khó khăn. Bạn cần biết chính xác tình hình hiện tại.
Nhưng với các thiết bị dùng để đo nhiệt độ wafer, bạn không thể đơn giản gắn cảm biến nhiệt lên bề mặt wafer được. Việc này sẽ làm ô nhiễm toàn bộ lô sản phẩm hoặc làm biến dạng wafer. Đó là một giải pháp không khả thi.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các hệ thống cảm biến hồng ngoại hiệu suất cao. Thay vì chạm vào wafer, các cảm biến này chỉ cần “quan sát” bức xạ nhiệt và chuyển đổi nó thành dữ liệu kỹ thuật số. Bạn có thể biết được nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer trong vài miligiây thôi. Thật nhanh!
Vượt qua giới hạn của con số đơn lẻ
Nhiều người nghĩ rằng việc “chuyển sang hệ thống kỹ thuật số” chỉ đơn giản là lắp một màn hình lên máy móc. Nhưng thực ra không phải vậy. Điều quan trọng là các chi tiết cụ thể.
Cảm biến hồng ngoại không chỉ cho bạn một con số nhiệt độ trung bình, mà còn cung cấp bản đồ nhiệt độ chi tiết. Khi bạn kết nối dữ liệu này vào hệ thống PLC hoặc SCADA, bạn sẽ có cái nhìn tổng quan về tình hình nhiệt độ bên trong thiết bị.
Đây chính là điểm thú vị. Bạn có thể thiết lập một hệ thống khép kín. Nếu có vùng nhiệt độ thấp xuất hiện ở mép wafer, hệ thống sẽ phát hiện ra điều đó và điều chỉnh ngay các bộ phận gia nhiệt. Không cần phải điều chỉnh thủ công hay đoán mò nữa.
Thực tế phức tạp của các thiết bị quang học
Tuy nhiên, mọi thứ không hề đơn giản như vậy. Việc sử dụng cảm biến hồng ngoại tốc độ cao đòi hỏi phải có tầm nhìn rõ ràng. Nếu có chất hóa học tích tụ trên thấu kính, dữ liệu đo sẽ bị sai lệch. Để khắc phục điều này, bạn cần có chương trình vệ sinh thấu kính hoặc sử dụng lớp khí bảo vệ để giữ cho thấu kính luôn sạch sẽ. Nếu bỏ qua bước này, dữ liệu sẽ bị sai lệch, và bạn lại phải đoán mò một lần nữa.
Làm sao để thiết bị phù hợp với không gian hạn chế?
Chúng ta biết rằng không gian bên trong các thiết bị khá chật hẹp. Chúng tôi thiết kế các hệ thống này sao cho chúng có thể được lắp đặt một cách dễ dàng. Bằng cách chuyển đổi các tín hiệu nhiệt analog thành dữ liệu kỹ thuật số, chúng ta có thể loại bỏ nhiễu tín hiệu thường gặp trong môi trường có điện áp cao. Về cơ bản, đây chính là giải pháp thay thế cho các cảm biến analog cũ kỹ.
Hơn nữa, dữ liệu thu được từ các cảm biến hồng ngoại còn có thể được sử dụng để phân tích hiệu suất sản xuất bằng AI. Thay vì phải đau đầu tìm lý do tại sao wafer bị biến dạng, bạn có thể biết chính xác nguyên nhân gây ra vấn đề đó. Điều này giúp giảm bớt áp lực trong quá trình sản xuất.