Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litografie, người ta cần học hỏi rất nhanh: chỉ cần có sự sai lệch về nhiệt độ 0,5 độ trong quá trình nung phim chống chiếu thôi cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của sản phẩm, khiến toàn bộ sản phẩm trở thành phế liệu. Chúng tôi đã chế tạo những thiết bị sưởi ấm có độ chính xác cao nhằm ngăn chặn điều này xảy ra – giúp duy trì độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trong suốt quá trình nung.
Điều quan trọng nhất trong quy trình này chính là khả năng kiểm soát, tính lặp lại cao, và việc giữ cho môi trường sản xuất sạch sẽ.
Thiết bị sưởi ấm này sử dụng tia hồng ngoại tần số cao, vì vậy nó có thể phản ứng nhanh chóng và chính xác để duy trì nhiệt độ ổn định cho wafer. Các linh kiện bằng thạch anh cùng cấu trúc phù hợp với môi trường sạch giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi, điều này rất quan trọng trong môi trường sản xuất loại Class 1–100. Hệ thống cảm biến và điều khiển tích hợp giúp duy trì mức nhiệt độ ổn định trong thời gian thực, ngay cả khi điện áp không ổn định.
Nhiệt độ chính là yếu tố quyết định quá trình loại bỏ dung môi và quá trình liên kết giữa các phân tử polyme trong quy trình litografie.
Thiết bị sưởi ấm của chúng tôi giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong quá trình nung nhẹ, từ đó loại bỏ các chất dư thừa trên bề mặt wafer. Sau đó, thiết bị này tiếp tục nung wafer ở nhiệt độ cao hơn để cải thiện độ bám giữa các lớp trên wafer trước khi tiến hành quá trình khắc. Kết quả là việc kiểm soát kích thước wafer được tốt hơn, giảm thiểu số lần phải làm lại sản phẩm. Ngoài ra, việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì hệ thống có thể đạt được mức nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và duy trì mức nhiệt độ đó mà không gây ra sự dao động quá mức.
Một vài lưu ý quan trọng trước khi lựa chọn thiết bị này:
Việc lắp đặt đòi hỏi phải có nguồn điện riêng biệt và được lọc kỹ lưỡng, đồng thời cần có hệ thống cách nhiệt tốt để tránh ảnh hưởng đến các khu vực xung quanh. Thời gian cần thiết để điều chỉnh các thông số kỹ thuật của thiết bị cũng khá ngắn. Thiết bị này có thể hoạt động với hầu hết các giao diện tương thích, nhưng nếu bạn muốn tích hợp nó vào các hệ thống cũ hơn, bạn có thể cần một bộ chuyển đổi cơ học tùy chỉnh.