Trong quá trình nung wafer, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,1°C cũng đủ để gây ra những sai lệch trong quá trình xử lý, dẫn đến việc hình thành các vết bẩn trên bề mặt wafer và làm giảm tỷ lệ thành phẩm. Các máy sấy thông thường khó có thể khắc phục được những biến đổi nhiệt độ này. Chúng tôi đã chế tạo chiếc máy sấy này nhằm loại bỏ những yếu tố gây biến động nhiệt độ này.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi duy trì độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C bằng cách sử dụng các bộ phát sóng hồng ngoại tần số cao trong một buồng kín bằng thạch anh. Hệ thống hoạt động trong môi trường sạch loại Class 1–100, và chúng tôi kiểm tra xem có sự xuất hiện của các hạt bụi hay không thông qua hệ thống giám sát tích hợp. Độ ổn định của nhiệt độ trong quá trình nung wafer cũng được đảm bảo ở mức ±0,2°C, nhờ đó việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer cũng được đảm bảo. Cấu trúc máy sấy giúp duy trì nhiệt độ của wafer ổn định, ngay cả khi nhiệt độ môi trường xung quanh thay đổi. Nhờ đó, mỗi lô sản phẩm đều nhận được cùng một mức nhiệt độ xử lý.
Tại sao nó phù hợp với quy trình sản xuất Trong quy trình in ấn và xử lý vật liệu phơi sáng, máy sấy có vai trò quan trọng trong việc quyết định độ dày của đường kẻ, mức độ bám dính của vật liệu phơi sáng,以及 lượng chất lỏng còn sót lại sau quá trình xử lý. Độ đồng đều về nhiệt độ cao giúp giảm thiểu việc phải làm lại công việc và số lần kiểm tra lại. Khả năng hoạt động trong môi trường sạch cùng việc loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi giúp giảm số lượng lỗi xuất hiện. Thời gian hoạt động của máy cũng được đảm bảo ổn định, không có sự gián đoạn không mong muốn. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu nhờ vào khả năng điều chỉnh nhanh của các bộ phát sóng hồng ngoại. Kết quả là quy trình sản xuất trở nên ổn định hơn, ít có sự biến động hơn, và thời gian xử lý cũng được kiểm soát chính xác.
Những yêu cầu cần thiết khi lắp đặt Máy sấy cần được cung cấp nguồn điện ổn định và có hệ thống khí nitơ để duy trì môi trường sạch trong suốt quá trình hoạt động. Việc lắp đặt máy khá đơn giản, nhưng cần phải đảm bảo rằng khối lượng nhiệt và vị trí kết nối của máy phù hợp với thiết bị xử lý hiện có, để tránh sự can thiệp về mặt cơ học. Nên tiến hành thử nghiệm ngắn để xác định thông số xử lý phù hợp; một khi các thông số này đã được xác định, chúng sẽ được duy trì ổn định trong suốt quá trình sản xuất.