Cảm biến nhiệt độ dùng cho dụng cụ xử lý wafer
Hãy ngừng đoán mò nhiệt độ của wafer đi!
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy sản xuất thông minh, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng việc phải xử lý các vấn...
Máy sưởi có độ chính xác cao về nhiệt độ
Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litografie, người ta cần học hỏi rất nhanh: chỉ cần có sự sai lệch về nhiệt độ 0,5 độ trong quá trình nung...
Gia nhiệt đồng đều cho wafer 300mm bằng tia hồng ngoại
Trên dây chuyền 300mm, quá trình soft bake và hard bake không chỉ là các bước nhiệt đơn thuần mà còn là các cửa lọc năng suất. Nếu nhiệt IR không...