진공 오븐 히터 제작

Role 현장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 예열이 아니다. 이는 엄격한 공정 경계선이다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 온도가 몇 도만 벗어나도, 치명적인 치수 제어가 무너진다. 라인이 에칭 전에 웨이퍼를 이미 불량 처리하기 시작한다. 그래서 진공 오븐의 히팅...