300mm 웨이퍼 IR에 대한 균일한 열

300mm 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열처리 단계가 아니라 수율 관리 관문이다. IR 히터의 열분포가 균일하지 않으면 라인폭 변동, 에지 비드, 클리닝 후 잔류하는 스컴 현상이 발생한다. 이를 검사로 해결할 수 없다. 온도 프로파일을 근본적으로 수...