태양광 실리콘 웨이퍼 히터

제조 현장에서의 중요성 24시간 연속 운영되는 리소그래피 라인은 열 드리프트에 대해 여유를 주지 않습니다. 소프트 베이크 온도가 목표에서 단 2°C 벗어나기만 해도 포토레지스트 프로파일이 변화합니다. 중요 치수 제어가 느슨해지고, 수율이 저하되며, 일정 관리자는 계획...