웨이퍼의 온도를 더 이상 추측하지 마세요. “스마트 팹”을 구축하려는 경우, 문제가 발생한 후에 그에 대응하는 것은 악몽과 같다는 것을 아실 것입니다. 지금 당장 무슨 일이 일어나고 있는지 알아야 합니다. 하지만 웨이퍼 측정 장비의 경우, 단순히 서브스트레이트에 서모...

리소그래피 공정에서는 빠르게 학습해야 합니다. 포토레지스트를 가열할 때 0.5도만의 오차도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 고정밀 온도 조절 장치를 개발했습니다. 이 장치 덕분에 소프트 베이크와 하드 베이크 과정 모두에서 웨이...