अपने वेफरों के तापमान का अनुमान लगाना बंद करें।
यदि आप “स्मार्ट फैब” बनाने की कोशिश कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि समस्याओं के होने के बाद ही उनका समाधान करना बहुत ही कठिन होता है। आपको तो वास्तव में यह जानना होगा कि इस समय क्या हो रहा है।
लेकिन वेफरों के मामले में समस्या यह है कि आप सीधे सब्सट्रेट पर थर्मोकपल लगा ही नहीं सकते। ऐसा करने से पूरा बैच खराब हो सकता है, या वेफर भी खराब हो सकता है। यह तो असंभव ही है।
इसीलिए हम उच्च-दक्षता वाली इन्फ्रारेड प्रणालियों का उपयोग करते हैं। ऐसी प्रणालियाँ वेफर को छूए बिना ही उसके तापमान को माप सकती हैं। कुछ ही मिलीसेकंड में ही आपको वेफर का पूरा तापमान-मानचित्र मिल जाता है। यह बहुत ही तेज़ है।
केवल एक ही संख्या पर भरोसा न करें।
बहुत से लोग सोचते हैं कि “डिजिटलीकरण” का मतलब बस मशीन पर स्क्रीन लगाना ही है। ऐसा नहीं है। डिजिटलीकरण का मतलब तो विस्तृत जानकारी प्राप्त करना है।
इन्फ्रारेड सेंसर केवल एक ही औसत तापमान-मान नहीं देता, बल्कि एक स्थानिक मानचित्र भी देता है। जब आप इस जानकारी को PLC या SCADA सिस्टम में डालते हैं, तो आपको मशीन के अंदर का तापमान-मानचित्र मिल जाता है।
यहीं से तो यह प्रणाली बहुत ही उपयोगी हो जाती है। आप एक बंद-लूप प्रणाली भी बना सकते हैं। यदि वेफर के किनारे कहीं ठंडा इलाका हो जाता है, तो सिस्टम तुरंत ही उस इलाके को गर्म कर देता है। इसमें कोई मैनुअल समायोजन या अनुमान लगाने की आवश्यकता ही नहीं है।
ऑप्टिक्स संबंधी समस्याएँ
लेकिन यह सब इतना आसान भी नहीं है। उच्च-गति वाली इन्फ्रारेड सेंसिंग के लिए तो स्पष्ट दृश्य आवश्यक है।
यदि लेंस पर कोई रासायनिक पदार्थ जम जाता है, तो आपके पढ़े गए मान गलत हो जाते हैं। इस समस्या को दूर करने हेतु आपको लेंस की सफाई की व्यवस्था करनी होगी, या कोई सुरक्षात्मक गैस का उपयोग करना होगा ताकि लेंस साफ रहे। यदि आप ऐसा नहीं करते, तो आपके डेटा में त्रुटियाँ आ जाएँगी, और आपको फिर से अनुमान लगाना ही पड़ेगा।
इसे उपयुक्त बनाना
हमें पता है कि मशीनों में जगह बहुत ही कम होती है। हम ऐसी प्रणालियाँ डिज़ाइन करते हैं जो आसानी से ही वहाँ फिट हो जाएँ। ऐसी प्रणालियाँ एनालॉग तापमान-संकेतों को डिजिटल संकेतों में बदल देती हैं, जिससे उच्च-वोल्टेज वाले वातावरण में होने वाली त्रुटियाँ दूर हो जाती हैं। यह तो उन पुराने एनालॉग सेंसरों का ही विकल्प है।
इसके अलावा, यह डेटा AI विश्लेषण के लिए भी उपयोगी है। अब आपको यह जानने की आवश्यकता ही नहीं है कि वेफर क्यों खराब हो रहे हैं… आप तो सीधे ही उस तापमान-अंतर को देख सकते हैं जिसके कारण ऐसी समस्याएँ हो रही हैं। इससे पूरी प्रक्रिया बहुत ही आसान हो जाती है।