वेफर की सतह पर 90°C पर होने वाला “सॉफ्ट बेक” महज एक तापमान ही नहीं है… बल्कि यह तो लाइन-विड्थ नियंत्रण हेतु आवश्यक तापीय मान है। यदि फोटोरेजिस्ट में मौजूद घुलनशील पदार्थों की मात्रा में आधा डिग्री की भी कमी हो जाए, तो उत्पादों में ऐसे दोष पैदा हो जाते हैं, जो कि डेवलपमेंट के बाद ही दिखाई देते हैं। ऐप्लाइड मैटेरियल्स के उपकरणों हेतु हमने एक इन्फ्रारेड लैंप विकसित किया है… ताकि तापमान में होने वाली ऐसी छोटी-मोटी भिन्नताओं को कम किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड है… जिसकी तरंगदैर्घ्य फोटोरेजिस्ट के अवशोषण क्षमता के अनुरूप है। वास्तविक मापदंड तो तापीय एकरूपता है… अर्थात् वेफर की सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही होना चाहिए।
यह कोई कागजी मापदंड नहीं है… बल्कि यह मापन प्रक्रिया-गैसों के प्रवाह के दौरान कैलिब्रेटेड थर्मोकपलों के द्वारा ही किया जाता है… और यह मापन पूरी प्रक्रिया के दौरान ही सटीक रहता है। क्वार्ट्ज एवं सिरेमिक सामग्रियों का उपयोग करके ऐसे उपकरण बनाए गए हैं… जो क्लास 1–100 की परिस्थितियों में भी काम कर सकते हैं… एवं स्थिर अवस्था में कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता।
5,000+ घंटों तक उत्पादन प्रक्रिया में आउटपुट की विश्वसनीयता 1% के भीतर ही रहती है… इसलिए एक ही लैंप से हर बार एक ही गुणवत्ता वाले उत्पाद प्राप्त होते हैं।
यह यहाँ क्यों महत्वपूर्ण है?
ऐप्लाइड मैटेरियल्स के उपकरणों में तापीय प्रक्रियाएँ बहुत ही सटीक रूप से होती हैं… और फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण प्रक्रिया, तापमान में होने वाले परिवर्तनों के प्रति बहुत ही संवेदनशील है। यह लैंप मौजूदा चैंबर में ही काम करता है… बिना किसी यांत्रिक परिवर्तन के… एवं गैस प्रवाह/दरवाजा खोलने जैसी घटनाओं के दौरान भी तापमान को नियंत्रित रखने में सहायक है।
इससे पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है… इसलिए उत्पादन दक्षता में वृद्धि होती है… एवं ऊर्जा की भी बचत होती है… क्योंकि लैंप केवल आवश्यकता पड़ने पर ही गर्म होता है। जब तापीय प्रोफ़ाइल स्थिर रहता है, तो प्रक्रिया आसान हो जाती है… एवं मेट्रोलॉजी लॉग में तापमान संबंधी डेटा भी सटीक रहता है।
व्यावहारिक विवरण:
यह लैंप, ऐप्लाइड मैटेरियल्स के मानक पावर/कंट्रोल कनेक्शनों के साथ ही काम करता है… लेकिन आपको अपने उपकरणों एवं चैंबर सेटअप के अनुसार सही कनेक्टर/माउंटिंग ब्रैकेट की जाँच अवश्य करनी होगी।
तापमान को मापने हेतु एक छोटा परीक्षण किया जाना आवश्यक है… ताकि सेटपॉइंट को सही ढंग से निर्धारित किया जा सके। उच्च आर्द्रता वाले क्लीनरूमों में, कूलेंट लाइनों को सूखा रखना आवश्यक है… क्योंकि वर्षा के कारण लैंप काम नहीं करेगा। एक बार सेटअप हो जाने के बाद, लैंप को पुनः कैलिब्रेट करने की आवश्यकता नहीं है… बस नियमित सेंसर जाँच ही पर्याप्त है।