लिथोग्राफी प्रक्रिया में, तेजी से सीखना आवश्यक है – फोटोरेजिस्ट को गर्म करते समय आधा डिग्री का भी अंतर, महत्वपूर्ण मापदंडों को बदल सकता है, जिससे पूरा उत्पाद बर्बाद हो जाता है। हमने ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु उच्च-सटीकता वाले तापमान नियंत्रण उपकरण विकसित किए; ताकि वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे।
वास्तव में, महत्वपूर्ण बातें तो नियंत्रण, पुनरावृत्ति की क्षमता, एवं उत्पादन प्रक्रिया को स्वच्छ रखना ही है।
यह हीटर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करता है; इसलिए यह वेफर के तापमान को तेजी एवं सटीक रूप से नियंत्रित कर सकता है। क्वार्ट्ज घटकों एवं स्वच्छ कमरों के उपयोग से कणों का उत्पादन शून्य रहता है… जो कि क्लास 1–100 वाले वातावरणों हेतु आवश्यक है। एकीकृत सेंसिंग एवं नियंत्रण प्रणाली के कारण, फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण हेतु आवश्यक सेटपॉइंट्स हर बार समान ही रहते हैं… भले ही लाइन वोल्टेज में बदलाव हो।
तापमान, लिथोग्राफी प्रक्रिया में घोलों के निष्कासन एवं पॉलिमरों के आपसी जुड़ने की प्रक्रिया को नियंत्रित करता है।
हमारा हीटर, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया के दौरान अवांछित पदार्थों को हटाता है; फिर “हार्ड बेक” प्रक्रिया के दौरान वेफर की चिपकने की क्षमता में सुधार करता है। इसके परिणामस्वरूप, CD मापदंडों पर बेहतर नियंत्रण प्राप्त होता है, एवं पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है… और बेकिंग समय में भी कोई वृद्धि नहीं होती। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि सिस्टम तेजी से सेटपॉइंट तक पहुँच जाता है, एवं उसे कम से कम विचलन के साथ ही बनाए रखता है।
खरीदने से पहले कुछ व्यावहारिक बातें…
इस हीटर को इंस्टॉल करने हेतु विशेष, फिल्टर्ड विद्युत आपूर्ति एवं उचित थर्मल इन्सुलेशन आवश्यक है… ताकि यह पड़ोसी स्टेशनों से प्रभावित न हो। फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण हेतु आवश्यक सेटपॉइंट्स को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। यह उपकरण अधिकांश ट्रैक इंटरफेसों के साथ काम करता है… लेकिन यदि आप पुराने प्लेटफॉर्मों के साथ इसे इंटीग्रेट कर रहे हैं, तो आपको कस्टम मैकेनिकल एडाप्टर की आवश्यकता होगी।