متوقف کنید اتلاف انرژی در فرآیند خشکسازی ویفرها
هنگام خشکسازی ویفرها، هر وات انرژی اتلاف شده، در واقع به معنای اتلاف پول است؛ همچنین این امر خطر آلودگی ناخواسته را نیز افزایش میدهد.
به لامپ خشکسازی خود فکر کنید؛ این لامپ انرژی را در تمام جهات، یعنی ۳۶۰ درجه، تولید میکند. اما ویفر تنها در یک سمت قرار دارد؛ بنابراین نیمی از انرژی صرف گرم کردن هوای پشت لامپ میشود. این واقعاً اتلاف انرژی است.
ما این مشکل را با استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا حل میکنیم؛ این بازتابندهها انرژی تولید شده را دوباره به سمت ویفر هدایت میکنند.
چرا طلا؟
شاید بپرسید چرا از آلومینیوم صیقلی استفاده نمیکنیم؛ مشکل اینجاست که آلومینیوم مقدار زیادی انرژی مادون قرمز را جذب میکند و آن را به خوبی بازتاب نمیدهد.
اما طلا متفاوت است؛ طلا در بازتاب انرژیهای مادون قرمز بسیار مؤثر است. ما یک لایه نازک از طلا را روی سطحهای منحنی قرار میدهیم؛ به این ترتیب تقریباً تمام انرژی تولید شده به ویفر میرسد. در نتیجه، دمای مورد نظر به سرعت حاصل میشود و هزینه برق نیز کاهش مییابد.
هدایت انرژی به محل مناسب
شکل بازتابنده بسیار مهم است؛ ما از منحنیهای پارابولیک یا بیضوی برای هدایت انرژی به یک نقطه مشخص استفاده میکنیم.
این کار باعث ایجاد یک منطقه گرمایی با چگالی بالا میشود؛ این منطقه بسیار قوی و سریع عمل میکند. در نتیجه، زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر به طور چشمگیری کاهش مییابد.
اما مشکل اینجاست: اگر بازتابنده دارای خطا باشد، «نقاط سرد» ایجاد خواهد شد؛ این امر منجر به خشکسازی ناهموار ویفر میشود، و در نتیجه ویفر بیفایده خواهد شد.
چند نکته مهم برای توجه
طلا به دلایلی استاندارد مناسبی برای این کار است؛ اما طلا نرم است و نمیتواند در برابر ضربات مقاومت کند.
اگر از مواد تمیزکننده خشن استفاده کنید، روکش طلا آسیب خواهد دید؛ این خراشها نه تنها ظاهر زشتی ایجاد میکنند، بلکه مانع از بازتاب انرژی میشوند. این امر میتواند باعث گرم شدن بیش از حد بازتابنده شود.
ساده نگه دارید: از دستکش استفاده کنید و از مواد تمیزکننه غیرواکنشی استفاده کنید.
این محصولات برای جایگزینی راکهای فعلی شما طراحی شدهاند؛ بنابراین تعویض آنها آسان است. فقط مطمئن شوید که لامپ در مرکز قرار دارد؛ اگر حتی کمی کج باشد، نقطه تمرکز انرژی تغییر کرده و تمام مزایایی که درباره آنها صحبت کردیم از بین خواهد رفت.