متوقف کردن شکستگیها: روش بهتری برای استفاده از لامپهای مادون قرمز در کارخانههای تولید ویفرها
در کارخانههایی که فشار کاری بالایی دارند، خرابی لامپ یک فاجعه محسوب میشود. مسئله فقط مربوط به توقف کار نیست؛ زمانی که یک لوله کوارتزی خراب میشود، این موضوع مانند انفجار یک گرانات است؛ در نتیجه تکههای شیشه و مواد شیمیایی در سراسر ویفرها پخش میشوند.
دقیقاً به همین دلیل بود که ما لامپهایی با دو لوله و پوشش طلا ساختیم. ما میخواستیم از بروز آلودگیهای ثانویه جلوگیری کنیم.
چرا دو لوله و پوشش طلا؟
لولههای تکی معمولاً منجر به ایجاد نقاط داغ میشوند؛ این امر فشار زیادی روی کوارتز وارد میکند. با استفاده از دو لوله، میتوانیم این فشار حرارتی را تقسیم کنیم؛ در نتیجه دمای بالای شیشه کاهش مییابد و لامپ نیز از خرابی در امان میماند.
پوشش طلا نیز صرفاً برای زیبایی نیست؛ در واقع این پوشش نقش آینه را دارد. این پوشش باعث میشود گرما به جای بازگشت به داخل لامپ، مستقیماً به سمت ویفرها هدایت شود. در نتیجه، گرمای لازم در جای مناسب تأمین میشود و خود لامپ نیز سردتر باقی میماند. این روش از نرم شدن یا ترک خوردن کوارتز در شرایط کاری سخت جلوگیری میکند.
حفظ تمیزی و ایمنی
ما زمان زیادی را صرف بهبود سیستمهای مهر و موم کردن و پوشش لامپها کردیم؛ زیرا این بخشها معمولاً منبع مشکلات هستند.
لایه طلا در واقع نوعی سپر فیزیکی است؛ اگر ترک کوچکی در لامپ ایجاد شود، این پوشش به حفظ گاز هالوژن کمک میکند. این امر باعث میشود احتمال انفجار کاهش یابد.
اما باید توجه داشت که هیچ لامپی کاملاً مقاوم در برابر آسیب نیست؛ بنابراین به یک ساختار محافظتی قوی نیاز است. همچنین، اگر توان لامپ را بدون تأمین هوای کافی افزایش دهید، اتصالات لامپ آسیب خواهند دید. برای جلوگیری از این مشکل، از ترمینالهای مقاوم در برابر حرارت بالا استفاده کردهایم تا سیمها در طول کار ۲۴ ساعته ذوب نشوند.
معایب این روش
معایب این روش این است که طلا گران است؛ بنابراین هزینه این لامپها نسبت به لامپهای کوارتزی بیشتر است. همچنین، این لامپها طیف تابش را کمی تغییر میدهند؛ بنابراین ممکن است نیاز به تنظیمات بیشتری در کنترلرهای PID باشد. علاوه بر این، اگر سیستم خنککننده لامپ مشکل داشته باشد، این گرمای بازتابی میتواند فشار اضافی روی بدنه لامپ ایجاد کند.
البته، مدیریت این مشکلات در ابتدا کمی دشوار است، اما این روش بهتر از تمیز کردن ویفرها از تکههای شیشهای است.