حفظ ایمنی هنگام گرم کردن مواد شیمیایی قابل اشتعال
باید صادق باشیم: گرم کردن ویفرها در حمامهای شیمیایی کاری پرخطر است. وقتی که با حلالهای فرار و قابل اشتعال کار میکنیم، خطرات زیادی وجود دارد. یک جرقه کوچک یا روشن شدن نادرست لامپ، میتواند منجر به انفجار شود. این یک سناریوی وحشتناک است.
به همین دلیل، ما لامپها را فقط ساخته نمیکنیم؛ بلکه آنها را در یک پوشش محافظتی قرار میدهیم. ما بخشهای الکتریکی لامپ را از سایر اجزا جدا میکنیم تا محیط اطراف آنها نتواند باعث بروز فاجعه شود.
کیفیت ساخت مهم است.
ما از شیشه کوارتز با خلوص بالا برای ساخت پوشش لامپ استفاده میکنیم؛ زیرا این شیشه میتواند در برابر شوکهای حرارتی زیاد مقاومت کند. اما جادوی واقعی در درزبندها نهفته است؛ تا از نفوذ بخارات شیمیایی به داخل لامپ جلوگیری شود، از درزبندهای شیشه-فلزی در الکترودها استفاده میکنیم.
سپس، انتهای لامپها را با مادههای ضدحریق پوشانیم. این ماده در واقع یک دیوار فیزیکی است که مانع از نفوذ گازهای مخرب به داخل لامپ میشود.
مدیریت دما در شرایط فشار
اگر جریان حرارتی یکنواخت نباشد، کل فرآیند گرم کردن ویفرها از هم میپاشد. ما بسیار دقیق در انتخاب توان لامپ هستیم؛ زیرا گرم شدن بیش از حد حمام شیمیایی، خطر بزرگی است. اگر لامپ بیش از حد گرم شود، ممکن است حلالها خیلی سریع جوش بخورند؛ یا حتی به نقطه اشتعال برسند.
برای جلوگیری از این اتفاق، ما هیترها را با سنسورهای IR دقیق همراه میکنیم. این سنسورها سطح ویفر را به صورت لحظهای زیر نظر دارند؛ اگر دما بالا رود، کنترلر توان لامپ را کاهش میدهد. ساده است.
نکاتی که باید در نظر گرفت
این محافظتهای اضافی باعث میشود لامپها کمی بزرگتر شوند؛ بنابراین نمیتوان آنها را در لامپهای معمولی قرار داد. باید مطمئن شوید که فضای کافی برای پوششهای محافظتی وجود دارد.
همچنین، درزبندها باعث تغییر در نحوه تخلیه حرارت میشوند؛ بنابراین باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده یا ذخیرهکنندههای حرارت، کار خود را به درستی انجام میدهند. اگر حرارت در اطراف انتهای لامپ تجمع کند، ماده پوششی ممکن است با گذشت زمان تخریب شود. اگر آنها را خنک نگه دارید، دوام خواهند آورد.