دیگر نیازی نیست حدس بزنید که دمای ویفرها چقدر است!
اگر قصد ساخت یک کارخانه هوشمند را دارید، احتمالاً متوجه شدهاید که واکنش نشان دادن به مشکلات پس از بروز آنها، کار بسیار دشواری است. شما باید بدانید که در لحظه حال چه اتفاقی میافتد.
اما مشکل اینجاست که نمیتوانید یک ترموکاپل را مستقیماً روی سطح ویفر قرار دهید؛ زیرا این کار باعث آلوده شدن کل محموله یا تغییر شکل فیزیکی ویفر خواهد شد. این روش قابل قبول نیست.
به همین دلیل، از سیستمهای مادون قرمز با کارایی بالا استفاده میکنیم. این سنسورها بدون لمس کردن ویفر، تنها تابش حرارتی را ثبت کرده و آن را به دادههای دیجیتال تبدیل میکنند. در عرض چند میلیثانیه، میتوانید نقشه کامل دمای ویفر را دریافت کنید. این کار بسیار سریع است.
فراتر از یک عدد ساده
بسیاری افراد فکر میکنند که «دیجیتالی کردن» به معنای قرار دادن یک صفحه نمایش روی دستگاه است؛ اما اینطور نیست. موضوع، جزئیات است.
یک سنسور مادون قرمز فقط یک مقدار متوسط دما را ارائه نمیدهد؛ بلکه یک نقشه فضایی از دما را ارائه میدهد. وقتی این دادهها را به سیستم PLC یا SCADA وارد کنید، میتوانید نقشه حرارتی دستگاه را مشاهده کنید.
اینجاست که کار جالب میشود؛ میتوانید یک سیستم حلقه بسته ایجاد کنید. اگر ناحیهای سرد روی ویفر وجود داشته باشد، سیستم آن را تشخیص داده و بلافاصله عناصر گرمایشی را تنظیم میکند. دیگر نیازی به تنظیمات دستی یا حدس زدن نیست.
واقعیت پیچیده اپتیک
البته، همه چیز جادویی نیست. برای استفاده از سنسورهای مادون قرمز با سرعت بالا، نیاز به دیدی کاملاً واضح وجود دارد.
اگر مواد شیمیایی روی لنز تجمع کنند، مقادیر اندازهگیری شده نادرست خواهد بود. برای رفع این مشکل، باید چرخههای تمیزکاری لنز را در نظر بگیرید یا از پردههای گازی برای حفظ تمیزی لنز استفاده کنید. اگر این کار را انجام ندهید، دادههای شما نادرست خواهد بود و دوباره مجبور خواهید بود حدس بزنید.
سازگاری با فضای محدود
میدانیم که فضای موجود برای قرار دادن سنسورها بسیار محدود است. بنابراین، این سیستمها را به گونهای طراحی کردهایم که به راحتی در آن فضا قرار بگیرند. با تبدیل سیگنالهای حرارتی آنالوگ به بستههای دیجیتال، میتوانیم نویزهای موجود در محیطهای پرفشار را از بین ببریم. این روش، جایگزین مناسبی برای سنسورهای آنالوگ قدیمی است.
علاوه بر این، این دادهها میتوانند در تحلیل بازدهی با استفاده از هوش مصنوعی نیز مورد استفاده قرار گیرند. در عوض اینکه نگران دلایل تغییر شکل ویفر باشید، میتوانید دقیقاً مشخص کنید که چه گرادیان حرارتی باعث این مشکل شده است. این کار، کل فرآیند را بسیار سادهتر میکند.