در کارخانههای تولید، تغییر دما در حد ۰.۱ درجه سانتیگراد در طول فرآیندهای پخت، میتواند باعث اختلالاتی در کیفیت ویفرها شود؛ همچنین میتواند باعث ایجاد لکهها و کاهش بازده تولید شود. خشککنهای معمولی، با توجه به تغییرات دمایی و افزایش تعداد ذرات در بلافاصله پس از فرآیندهای حرارتی، نمیتوانند مشکلات ناشی از این تغییرات را برطرف کنند. ما این خشککن را طوری طراحی کردهایم که بتواند این عوامل ناپایداری را از بین ببرد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما با استفاده از فرستندههای مادونقرمز کوتاهامواج در یک محفظه جداشده از نور، توانستهایم یکنواختی دمایی ویفرها را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنیم. این سیستم در اتاقهای پاکسازی با استاندارد Class 1–100 کار میکند؛ همچنین، ما وجود هیچ ذرهای را از طریق نظارتهای لحظهای بررسی میکنیم. پروفایلهای پخت فوتورزیست نیز قابل تکرار هستند؛ استабیلی دما در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد باعث میشود کنترل ابعاد کلیدی و پروفایل دیوارههای ویفرها دچار اختلال نشود. ساختار گرمایشی این خشککن، دمای سطح ویفر را از تغییرات دمای محیطی جدا میکند؛ بنابراین، هر بچ تولیدی از یک شرایط حرارتی یکسان برخوردار است.
چرا این خشککن برای فرآیندهای لیتوگرافی مناسب است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست، خشککن مستقیماً بر عرض رگهها، قدرت چسبندگی و مقدار محلولات باقیمانده تأثیر میگذارد. یکنواختی دمایی بالا، باعث کاهش کارهای تکراری و نیاز به بازبینیهای مکرر میشود. سازگاری این خشککن با اتاقهای پاکسازی و عدم وجود ذرات، باعث کاهش تعداد نقصها میشود؛ همچنین، عملکرد خشککن بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای باقی میماند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا فرستندههای گرمایشی به سرعت روشن میشوند و در حالت استراحت نیز با توان کم کار میکنند. در نتیجه، فرآیندها پایدار میشوند، تغییرات کمتری رخ میدهد و زمان انجام فرآیندها قابل پیشبینی است.
چه چیزهایی برای نصب این خشککن لازم است؟
این خشککن نیاز به منبع تغذیه جداگانه و فیلتردهی شده، همچنین مسیری برای تخلیه نیتروژن دارد تا عملکرد آن در دماهای بالا حفظ شود. ادغام این خشککن در سیستمهای موجود نیز آسان است؛ اما باید جرم حرارتی و جهت اتصالات آن با سیستمهای موجود هماهنگ شود تا هیچ اختلال مکانیکی ایجاد نشود. لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا پروفایل پخت تنظیم شود؛ پس از آن، این پروفایل در تمام شیفتها و بچهای تولیدی یکسان خواهد بود.