防止生物传感器设备过热
在制造生物传感器时，控制温度至关重要。不过，传统的红外灯存在一个麻烦：它们会向各个方向散发热量。在空间有限的半导体生产设备中，这些热量不会按照预期的方向传播，而是会传导到设备的内部墙面。这样一来，设备的内部就会变得非常热。这不仅会让操作人员受伤，还会导致昂贵的设备变形。显然，这不是什么好事。
我们如何解决这个问题？
我们采用定向红外技术来解决问题。与其使用普通的石英管，不如再加上反射罩和专门的发射器。这就好比用手电筒而不是灯泡——热量会被集中到目标位置，从而避免影响到设备的其他部分。这样，晶圆上的热量就能得到有效控制，而设备的其他部分则不会变得过热。
更凉爽的设备，更满意的工作人员
由于热量是朝着一个方向传递的，因此冷却风扇就不需要那么努力地工作了。最棒的是，即使提高加工温度，设备的表面依然保持凉爽。如果操作人员不得不一直伸手进入设备内部，那可真是糟糕至极——这是绝对不能容忍的。
当然，也有缺点……
不过，这种灯具并非万能的解决方案。因为光线过于集中，所以会导致“热点”现象。如果晶圆的位置不对，或者传送带出现轻微的偏差，那么传感器的加热情况就会不均匀。这就需要精确控制焦距。如果距离太近，边缘就会被烧坏；如果距离太远，那么防护罩的作用就消失了。
在安装这些设备之前，最好先规划好热分布情况。这样就能避免日后出现各种问题。