การลดปริมาณคาร์บอนในกระบวนการอบแห้ง MEMS ด้วยแสงอินฟราเรด เมื่อผลิตเซ็นเซอร์ MEMS...

บนพื้นโรงงาน อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงระหว่างการอบฟิล์มฟโต้เรซิสต์ไม่ใช่เรื่องที่เป็นเชิงวิชาการ มันแสดงออกมาเป็นความแปรปรวนของความกว้างของเส้น...