ในกระบวนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างพื้นผิววงจรไม่ใช่เพียงแค่สิ่งที่ควรมีเท่านั้น แต่เป็นสิ่งสำคัญมาก...

บนพื้นโรงงาน การอบ photoresist ไม่ใช่แค่การอุ่นเครื่อง แต่เป็นขอบเขตขั้นตอนที่สำคัญ ถ้าอุณหภูมิผิดพลาดเพียงไม่กี่องศาใน soft bake หรือ hard bake...