Op de afdeling voor lithografie moet je snel leren: een verschil van een halve graad tijdens het verhitten van de fotoresistent is al voldoende om de cruciale dimensies te veranderen, waardoor veel producten onbruikbaar worden. We hebben een hightech temperatuurverwarmer ontworpen om dit te voorkomen – deze zorgt ervoor dat de temperatuur op het niveau van de chips binnen ±0,1°C blijft, zowel tijdens het zachte als het harde verhitten.
Wat belangrijk is, is controle, herhaalbaarheid en het behouden van een schone omgeving. De verwarmer gebruikt kortegolf-infraroodlicht, zodat hij snel en nauwkeurig kan reageren om de temperatuur op het juiste niveau te houden. Kwartscomponenten en een architectuur die geschikt is voor schone omgevingen zorgen er bovendien voor dat er geen deeltjes ontstaan. Dit is belangrijk voor omgevingen met een klasse van 1–100. Geavanceerde sensoren en controllers zorgen ervoor dat de instellingen voor het verwerken van de fotoresistent consistent blijven, zelfs wanneer de spanning in het systeem fluctueert.
Temperatuur is de factor die rechtstreeks invloed heeft op het verwijderen van oplosmiddelen en het proces van kruislinking van polymeren bij lithografie. Onze verwarmer zorgt eerst voor een zacht verhittingsschema, zodat vuil en afval worden weggenomen. Vervolgens wordt er een intensiever verhittingsschema toegepast, zodat de hechting tussen de verschillende lagen verbetert. Hierdoor wordt de controle over de dimensies van de chips verbeterd en zijn er minder herwerkingen nodig. Bovendien neemt het energieverbruik af, omdat het systeem snel het gewenste temperatuurniveau bereikt en dit niveau ook behoudt.
Een paar praktische tips voordat je de verwarmer bestelt: er is een aparte, gefilterde stroomvoorziening nodig, evenals goede thermische isolatie, zodat de verwarmer geen invloed heeft op de aangrenzende apparaten. Er is ook tijd nodig om de instellingen aan te passen aan jouw specifieke behoeften. De verwarmer werkt met de meeste interfaces, maar als je hem wilt integreren in oudere systemen, kun je misschien een speciaal ontworpen mechanisch adapter nodig hebben.