Op de productielijn is een afwijking van een halve graad in een gebied waar het materiaal wordt verhit geen ‘kleine afwijking’. Dit leidt tot een verlies van de benodigde temperatuur, onzuiverheden na het proces en een fotoresist die zich niet op de gewenste manier gedraagt. In de lithografie en het bewerken van fotoresist is temperatuur geen secundair aspect – het is juist een essentieel onderdeel van het proces.
Wat technisch gezien belangrijk is: Voor semiconductorkachels bouwen we thermokoppels die goed reageren op temperatuursveranderingen en een stabiel thermisch gedrag vertonen. De verbindingen tussen de delen van de thermokoppel zijn zo gemaakt dat ze nauwkeurig de gewenste temperatuur behouden, zodat er nauwelijks afwijkingen optreden. Hierdoor kunnen we een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C bereiken tijdens het verhitten van de schijven. Het materiaal van de omhulsing moet goed bestand zijn tegen corrosie, zelfs na herhaaldelijke temperatuurschommelingen. De responsnelheid van de thermokoppel moet zo zijn dat er snel kan worden gereageerd op temperatuursveranderingen, zodat er geen oververhitting optreedt.
Waarom dit werkt in een echte productielijn: In een schone ruimte van klasse 1–100 mag het aantal deeltjes niet te hoog zijn – dit is een strenge regel. Deze thermokoppels zijn zo ontworpen dat ze geen deeltjes produceren en dat ze 24/7 kunnen werken zonder dat er afwijkingen optreden die een herkalibratie vereisen. Hierdoor krijgen we stabiele verhittingsprofielen, consistente temperatuurcontrole en minder defecte producten die te maken hebben met temperatuurschommelingen. Ook wordt de energieverbruik verminderd, want nauwkeurige controle voorkomt oververhitting en daarmee ook energieruimteverspilling.
Wat je moet controleren: De plaatsing van de thermokoppel is belangrijk. Als deze te ver van het oppervlak van de schijf staat, geeft hij een andere temperatuurwaarde weer dan de schijf zelf. Daarom is het belangrijk dat de thermokoppel goed wordt gealigneerd met het gebied waar het materiaal wordt verhit.
De aarding en afsluiting van de thermokoppel moeten overeenkomen met die van de controller en de EMV-regels in de productielijn. Anders kan ruis de kleine temperatuursveranderingen maskeren die je probeert te controleren.
Specificeer ook het type connector en de lengte van de leidingen, zodat ze passen bij je apparatuur. Houd bovendien een regelmatig controleplan bij, zodat je kunt vaststellen of alles nog binnen de grenzen ligt.