Op de productielijn is thermische afwijking tijdens het verhitten van de fotorezerve niets wat alleen uit theorie bestaat – het is een probleem dat zich echt voordoet en tot lagere opbrengsten leidt. Wanneer de hete luchtstroom de temperatuur van de wafels niet binnen ±0,1°C kan behouden, veranderen de cruciale dimensies van de wafels. Hierdoor moet men dag in dag uit dezelfde defecten corrigeren. We hebben een airconditioning- en verwarmingsmodule ontwikkeld om deze afwijkingen van tevoren tegen te gaan, door de warmtestromen nauwkeurig te controleren.
Wat technisch gezien belangrijk is: De module maakt gebruik van near-infraroodverwarming om een uniforme thermische field te creëren. Hierdoor krijgen de wafels steeds dezelfde temperatuurprofielen. In praktijk betekent dit dat de stabiliteit van het verhittingsproces wordt verbeterd, zodat het gedrag van de fotoreserve consistent blijft. Het ontwerp is compatibel met schone ruimtes van klasse 1–100, omdat er nauwelijks deeltjes worden gegenereerd. Bovendien is het ontwerp zo gemaakt dat het voldoet aan de thermische eisen van moderne lithografietechnieken.
Het belangrijkste is dat de warmte zich als een procesparameter moet gedragen, en niet als een variabele. De module houdt de temperatuur stabiel, zelfs wanneer de luchtvloeiing of het aantal verwerkingssessies verandert. Dit vermindert afval, herwerking en vermindert de tijd die nodig is voor kalibratie. De energieverbruik neemt af, omdat het systeem alleen de benodigde hoeveelheid warmte geeft, op het juiste moment. Betrouwbaarheid wordt bereikt doordat er een uniform thermisch profiel wordt gecreëerd, waardoor er minder thermische stress op de componenten komt en er minder onverwachte stilstand optreedt.
Wat u van tevoren moet weten: Voor de installatie moet het luchtkanalpatroon en de geometrie van de AHU overeenkomen met die van de module. Als dit niet het geval is, zal dit leiden tot afwijkingen in de temperatuur en daardoor tot ongelijkmatigheden. Er is ook een instellingsprocedure nodig om de NIR-vermogensverdeling af te stemmen op het specifieke belastingsprofiel van de schone ruimte. Zodra alles goed is afgesteld, levert de module stabiele prestaties. Eerst moet echter zorgen worden dat de mechanische onderdelen goed passen.