Hoe je de verwarmers op je transportwagen veilig houdt (en je wafers intact laat)
In een halfgeleiderzuiverruimte is er simpelweg geen ruimte voor fouten. Wanneer we verwarmers maken voor transportwagens, maken we ons niet alleen zorgen over de gelijkmatige verdeling van de warmte. We maken ons ook zorgen over elektrische lekken. Eén klein vonkje of een klein defect in de isolatie? Dat is al voldoende om een hele partij wafers te beschadigen of om de beveiligingsaansluiting uit te schakelen, waardoor de hele faciliteit stil komt te liggen. Dat is zeker geen fijne situatie voor iedereen.
Waarom we elke eenheid testen
We gebruiken hier geen ‘willekeurige monsters’. Dat is te riskant. In plaats daarvan wordt elke verwarmingselement geprüft op zijn weerstand tegen hoge spanningen en op de kwaliteit van de isolatie, voordat het zelfs maar de fabriek mag verlaten. Met andere woorden: we belasten de isolatie met spanningen die veel hoger zijn dan die in de echte wereld voorkomen. Als er een microscopisch klein defect is in de keramiek of in de kwartslaag, zal de stroomstroom oncontroleerd stromen. We willen graag dat dit defect al in ons laboratorium wordt ontdekt, zodat jij het niet pas in je zuiverruimte ontdekt. Dit is de enige manier om er zeker van te zijn dat de verwarmder volledig geïsoleerd is van het chassi van de transportwagen.
De nadelen die je moet kennen
We gebruiken materialen van hoge zuiverheid om uitstoot van gassen te voorkomen. In jouw omgeving is dat natuurlijk vanzelfsprekend. Maar dit niveau van veiligheid en zuiverheid heeft ook zijn nadelen. Deze apparaten zijn wat groter dan gewone industriële verwarmers. Om deze strenge isolatietests te halen, moeten we dikker isolatiemateriaal gebruiken, waardoor de verwarmingselementen breder worden. Zorg er dus voor dat de bevestigingsonderdelen van de transportwagen goed passen bij deze afmetingen.
Het aansluiten van de apparaten
Zodra de apparaten arriveren, is het tijd om ze aan te sluiten. Hierbij moet je goed opletten op de aarding. Zelfs met al onze tests kan een slechte aarding op het niveau van de transportwagen ervoor zorgen dat alle isolatie nutteloos wordt. We leveren duidelijke schema’s mee, zodat je kunt voorkomen dat de verwarmder in contact komt met de elektronica die wordt gebruikt voor transport. Dit voorkomt dat elektromagnetische interferentie in je sensoren terechtkomt, waardoor je gegevens zuiver blijven.