Hentikan cara mengagak suhu wafer secara rawak
Jika anda ingin membina “Smart Fab”, anda pasti sudah menyedari bahawa bertindak balas terhadap masalah setelah ia berlaku merupakan sesuatu yang sangat menyusahkan. Anda perlu mengetahui apa yang sedang berlaku pada masa kini.
Namun, masalahnya ialah alat yang digunakan untuk mengukur suhu wafer tidak boleh diletakkan terus pada permukaan wafer tersebut. Ini akan merosakkan keseluruhan wafer atau menyebabkan kastruksinya berubah bentuk. Oleh itu, pendekatan ini tidak boleh digunakan.
Itulah sebabnya kita menggunakan sistem inframerah yang efisien. Sensor-sensor ini hanya “mengawasi” radiasi haba dan menukarkannya kepada data digital. Dengan cara ini, anda dapat melihat peta suhu keseluruhan wafer dalam masa beberapa milisaat sahaja. Sangat cepat.
Lebih daripada sekadar angka tunggal
Ramai orang beranggapan bahawa “pendigitalan” bermaksud meletakkan skrin pada mesin. Sebenarnya bukan begitu. Ia berkaitan dengan butiran yang lebih tepat.
Sensor inframerah bukan sahaja memberikan nilai suhu purata, tetapi juga peta suhu secara spatial. Apabila data ini dimasukkan ke dalam sistem PLC atau SCADA, anda akan dapat melihat peta haba secara langsung.
Inilah kelebihannya. Anda boleh membuat sistem tertutup. Jika ada kawasan yang sejuk di tepi wafer, sistem akan mengesannya dan segera menyesuaikan suhu pemanasan. Tiada lagi keperluan untuk menyesuaikan secara manual atau mengagak sendiri.
Realiti yang rumit dalam penggunaan optik
Bukan semuanya mudah. Penggunaan sensor inframerah yang berkelajuan tinggi memerlukan pandangan yang jelas. Jika bahan kimia menumpuk pada lensa, bacaan suhu akan menjadi tidak tepat. Untuk mengatasi masalah ini, anda perlu membersihkan lensa secara berkala atau menggunakan gas pelindung agar permukaan lensa tetap bersih. Jika anda mengabaikan langkah ini, data yang diperoleh akan tidak tepat, dan anda perlu mengagak semula.
Memastikan sistem sesuai digunakan
Kita tahu bahawa ruang di dalam alat tersebut sangat terhad. Kita direka sistem ini supaya ia boleh dipasang dengan mudah. Dengan menukar isyarat haba analog kepada paket data digital, kita dapat menghilangkan gangguan isyarat yang biasanya berlaku dalam persekitaran voltan tinggi. Ia merupakan pengganti yang ideal untuk probe analog yang lama.
Selain itu, data ini juga dapat digunakan bersama analisis AI untuk meningkatkan keberkesanan proses pengeluaran. Anda tidak perlu lagi bingung mencari punca kenapa wafer berbentuk tidak normal. Anda boleh melihat gradasi suhu yang menyebabkan masalah tersebut. Ini menjadikan proses pengeluaran lebih mudah.