Di bilik proses pembuatan cip ini, perubahan suhu sebanyak 0.1°C semasa proses pembakaran yang lembut atau keras sudah cukup untuk menyebabkan ketidakkonsistenan pada cip tersebut, serta menghasilkan sisa-sisa bahan yang tidak diinginkan. Pengering konvensional pula tidak mampu mengatasi masalah perbezaan suhu antara bahagian-bahagian cip, serta masalah kehadiran zarah-zarah yang timbul selepas proses pemanasan. Kami mencipta pengering cip ini untuk menghilangkan faktor-faktor ketidakpastian tersebut.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami memastikan suhu pada permukaan cip tetap stabil dalam lingkungan ±0.1°C, dengan menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek di dalam bilik khas yang dilindungi oleh kuarz. Sistem ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, dan kami memastikan tiada zarah yang terhasil melalui pemantauan secara berkala. Profil pemanasan bahan fotoresist juga kekal konsisten, dengan ketepatan sekitar ±0.2°C. Dengan cara ini, kawalan dimensi penting pada cip dapat dipertahankan dengan baik. Reka bentuk pemanas pula memastikan suhu substrat tidak terjejas oleh perubahan suhu persekitaran, sehingga setiap kumpulan cip mendapat keadaan termal yang sama.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi
Dalam proses litografi dan pemprosesan bahan fotoresist, pengering ini memainkan peranan penting dalam menentukan ketebalan garis, daya melekat bahan, serta jumlah pelarut yang tinggal setelah proses pembakaran. Kestabilan suhu yang tinggi membantu mengurangkan kerja-kerja pembaikan dan penyesuaian yang diperlukan. Keserasian dengan bilik bersih serta tiadanya zarah yang terhasil membantu mengurangkan jumlah kecacatan pada cip. Selain itu, masa operasi juga tetap stabil tanpa gangguan yang tidak dijangka, sehingga proses pembuatan cip dapat berjalan lancar. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana pemancar tersebut dapat beroperasi pada kuasa yang rendah tanpa menyebabkan perubahan suhu yang tidak diinginkan. Kelebihannya ialah proses yang lebih stabil, kurangnya gangguan, serta masa proses yang boleh diramalkan.
Apa yang diperlukan semasa pemasangan
Unit ini memerlukan sumber tenaga yang khusus dan telah disaring, serta saluran udara nitrogen untuk memastikan prestasi pengering tetap baik walaupun pada suhu yang tinggi. Pemasangannya mudah dilakukan pada landasan standard, namun perlu dipastikan bahawa massa haba dan orientasi penyambungnya sesuai dengan peralatan yang ada, agar tidak berlaku gangguan mekanikal. Pelaksanaan ujian awal sangat penting untuk menetapkan parameter pemanasan yang tepat; setelah itu, profil pemanasan akan kekal konsisten dari satu syif ke syif yang lain, serta dari satu kumpulan cip ke kumpulan cip yang lain.