Di permukaan wafer, suhu pemanggangan sebanyak 90°C bukan sekadar angka suhu semata-mata – ia merupakan petunjuk untuk mengawal ketebalan garisan yang terbentuk pada wafer tersebut. Jika suhu pemanggangan berubah sebanyak setengah darjah, maka hasil cetakan akan mempunyai kecacatan yang hanya dapat dilihat setelah proses pengembangan selesai. Kami telah mencipta lampu inframerah khas untuk alat-alat Applied Materials, agar dapat mengawal perubahan suhu tersebut.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Lampu ini menggunakan sinar inframerah gelombang pendek, yang disesuaikan agar sesuai dengan sifat penyerapan bahan fotoresist yang digunakan. Spesifikasi utamanya ialah keseragaman suhu, iaitu ±0.1°C di seluruh permukaan wafer semasa proses pemanggangan. Nilai ini diukur menggunakan termokopel yang telah dikalibrasi, dan nilai ini tetap stabil sepanjang proses pemanggangan. Kelengkapan kaca kuarsa dan komponen seramik yang digunakan adalah sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih, dan direka untuk beroperasi dalam kondisi kelas 1–100, tanpa penghasilan zarah-zarah tertentu setelah proses berjalan secara stabil.
Repetibiliti hasil pemanggangan kekal dalam lingkungan 1% selepas 5,000 jam operasi, jadi profil cahaya lampu yang sama akan memastikan kualiti garisan yang dihasilkan tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain.
Mengapa ia penting:
Alat-alat Applied Materials beroperasi dalam lingkungan suhu yang sangat ketat, dan proses pemrosesan fotoresist sangat sensitif terhadap kadar perubahan suhu dan masa yang digunakan untuk proses tersebut. Lampu ini boleh digunakan tanpa mengubah antaramuka mekanikal yang ada, dan respons kawalan lampu cukup cepat untuk mengekalkan suhu pada tahap yang ditetapkan semasa proses pemanggangan berlangsung.
Dengan cara ini, bilangan kerja ulang akan berkurangan, sehingga kualiti produk meningkat. Selain itu, penggunaan tenaga juga berkurangan kerana lampu hanya akan panas apabila diperlukan, bukan sentiasa menyala. Proses pemanggangan akan berjalan lebih lancar apabila profil suhu tetap stabil, dan tidak perlu lagi memantau perubahan suhu secara berterusan.
Butiran praktikal:
Lampu ini boleh digunakan bersama soket kuasa dan sistem kawalan standard dari Applied Materials. Namun, anda masih perlu memastikan jenis soket dan bracket pemasangan yang sesuai untuk versi alat dan susunan bilik bersih yang digunakan. Lakukan ujian pendek untuk menentukan titik suhu yang tepat, dan pastikan bahawa saluran penyejuk tetap kering. Dalam bilik bersih yang mempunyai kelembapan tinggi, pastikan saluran penyejuk tidak terkena kelembapan, kerana hal ini boleh menyebabkan lampu berhenti berfungsi. Setelah diselaraskan, lampu ini tidak memerlukan penalaan semula, kecuali pemeriksaan sensor biasa yang sudah dilakukan.