Dalam proses pengeringan katalis, ia bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan begitu sahaja. Ia merupakan proses yang memerlukan kawalan suhu yang tepat; sekiranya tidak dikawal dengan baik, ia boleh menjejaskan hasil pengeluaran. Penggunaan ketuhar konvektif menyebabkan perbezaan suhu di permukaan wafer. Ini seterusnya akan menyebabkan pengagihan katalis yang tidak sekata, adanya lubang kecil pada permukaan wafer, serta masalah lain yang boleh mengganggu proses penyambungan wafer tersebut.
Kami telah mencipta lampu pengeringan yang direka khusus untuk mengatasi masalah ini. Lampu ini menggunakan cahaya inframerah, dan direka dengan prinsip kawalan suhu yang sama seperti yang digunakan dalam proses pembakaran bahan fotoresist dan litografi.
Apa yang diperlukan setiap hari ialah sistem yang dapat dikawal dengan baik dan boleh diaudit. Sistem ini mampu mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat menggunakan cahaya inframerah, tanpa perlu sentuhan langsung dengan permukaan wafer. Kekonsistenan suhu pada permukaan wafer dapat dipertahankan pada tahap ±0.1°C, dan kestabilan suhu dapat dikekalkan walaupun sistem beroperasi secara berterusan.
Sistem ini sesuai digunakan dalam bilik bersih dari kelas 1 hingga kelas 100. Bahan-bahan dan komponen yang digunakan direka untuk memastikan tiada zarah debu terbentuk semasa operasi. Sistem ini juga dapat beroperasi secara konsisten dari satu syif ke syif yang lain, dengan profil suhu yang sama.
Inilah sebabnya mengapa sistem ini berkesan dalam praktiknya: ia dapat mengurangkan variasi semasa proses pengeringan. Proses pengeringan menjadi lebih cepat, bentuk katalis menjadi lebih sempurna, dan jumlah kerja ulangan berkurangan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana lampu hanya memanaskan objek yang dikehendaki, bukan keseluruhan bilik. Kebolehpercayaan sistem ini sangat tinggi, dan ia boleh beroperasi 24/7, dengan jadual penyelenggaraan yang boleh dirancang, bukan keretaausakan yang tidak dapat diramalkan.
Satu perkara penting yang perlu diperhatikan: proses pengeringan menggunakan cahaya inframerah memerlukan penjajaran geometri alat dan reflektor yang tepat, agar tidak ada bayangan pada kawasan yang ingin dikeringkan. Kami menyediakan kit pengesahan yang merangkumi peta suhu, profil intensiti cahaya, serta komponen pemasangan yang sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih. Dengan cara ini, hasil pengeringan akan memenuhi spesifikasi yang ditetapkan.